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产品名称:P54系列二维θxθy向压电偏摆台

产品型号:

产品报价:

产品特点:P54系列二维θxθy向压电偏摆台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

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P54系列二维θxθy向压电偏摆台的详细资料:

   P54系列二维θxθy向压电偏摆台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特性:

•  θx, θy偏摆运动 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄

 

应用实例

    P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用 于军事激光武器等领域。

典型应用

• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲

• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统

• 微操作 • 掩模与晶片位置调整

闭环传感精度高

    P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限 元分析优化,使角度偏移达到最小,无空回、无摩擦。

   采用压电陶瓷驱动实现大偏转范围±1.1mrad,分 辨率高达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S. 的重复定位精度。

   台体非常薄,厚度仅为20mm,中心通孔尺寸为 80×80mm,P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、 计量、定位等应用的选择。

负载大镜片

    P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm,非常适用于需要透 射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。

 

 推荐控制器

 

E01

E72

E70

 

页码 157

页码 163

页码 167

 

 

 

 

 

 

 

3路输出

3路输出

3路输出

 

上位机通信、模拟、旋钮

模拟、上位机通信

模拟与数字控制

 

开环/闭环

开环/闭环

开环/闭环

 

平均功率7W/通道

平均功率6W/通道

平均功率5W/通道

 

P54系列二维θxθy向压电偏摆台技术参数:

 

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P54.T2S P54.T2K

 

单位

运动自由度

θx, θy

 

标称偏摆角度 (0~+120V)

±0.8/ 轴

mrad±20%

最大偏摆角度 (-20~+150V)

±1.1/ 轴

mrad±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环偏摆分辨率

0.25/0.05

μrad

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

推/拉力

40/8

N

运动方向刚度

0.5

N/μm±20%

空载谐振频率

300

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

20/3.5

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

50

 

Hz±20%

100%行程

15

最大承载

1

kg

静电容量

3.6/ 轴

μF±20%

材质

铝、钢

 

重量

510

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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