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产品名称:三维XYZ向压电纳米定位台

产品型号:XP-62X

产品报价:

产品特点:三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优 化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。

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XP-62X三维XYZ向压电纳米定位台的详细资料:

    三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优 化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。

特性:

 1~3维自由组合

• 位移行程8μm • 最大承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级

• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

    P63系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。

 

典型应用

• 显微成像 • 纳米定位

• 生物技术 • 半导体技术

• 质量保证测试 • 微车削

• 原子力显微镜

 

小体积、高精度、响应速度快

   P63系列压电纳米定位台最重要的特点是超级精密 且体积非常小巧,尺寸仅为30×24×42mm(X轴尺寸 为30×24×21mm),易于集成到任何扫描仪器中。

   P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的,具有超低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

 

应用实例

   P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削 力测试实验中。

三维XYZ向压电纳米定位台技术参数:

 

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P63.X7S

P63.X7K

P63.Z7S

P63.Z7K

P63.XY7S

P63.XY7K

P63.XZ7S

P63.XZ7K

P63.XYZ7S

P63.XYZ7K

 

单位

运动自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

5.5

5.5

5.5/轴

5.5/轴

5.5/轴

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

8

8

8/轴

8/轴

8/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

0.2/0.1

nm

闭环线性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

<10

<10

<15

µrad

推/拉力

10/2

12/2

8/2

9/2

7/2

N

运动方向刚度

1.5

2

X1.2/Y1.4

X1.2/Z1.5

X0.9/Y1/Z1.2

N/μm±20%

空载谐振频率

2

2.5

X1.3/Y1.9

X1.5/Z1.6

X0.9/Y0.95/Z1.2

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

1.5/0.3

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

1000

1000

500

500

200

 

Hz±20%

100%行程

200

200

100

100

50

最大承载

0.8

0.8

0.5

0.5

0.4

kg

静电容量

0.8

0.8

0.8/轴

0.8/轴

0.8/轴

μF±20%

材质

 

重量

70

70

120

120

160

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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