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产品名称:P11系列压电纳米定位台

产品型号:

产品报价:

产品特点:P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现110μm位移。

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P11系列压电纳米定位台的详细资料:

   P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现110μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结 构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。

P11系列压电纳米定位台特点:

• 

• 1~3维运动

• 位移行程110μm

• 体积小巧

• 毫秒级响应时间

• 纳米级定位精度

1~3维平移台

P11系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、 XYZ等多种运动结构。可以实现110μm的精密运动。 

 大行程、闭环版本定位精度高、响应速度;原子力探针扫描显微镜  

P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理,内置高 可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~3维110μm的精密运动。该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压 电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。P11系列压电纳米定位台的响应速度非常快,配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。 

典型应用
• 纳米定位    • 生物技术
• 质量保证测试    • 微加工/精密控制

技术参数

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P11.X100S

P11.X100K

P11.Z100S

P11.Z100K

P11.XY100S

P11.XY100K

P11.XZ100S

P11.XZ100K

P11.XYZ100S

P11.XYZ100K

 

单位

运动自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

80

80

80/轴

80/轴

80/轴

μm±20%

zui大行程范围(-20~150V)

110

110

110/轴

110/轴

110/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

7/4

7/4

7/4

7/4

7/4

nm

闭环线性度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.01/-

0.01/-

0.02/-

0.02/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

<8

<8

<10

µrad

推/拉力

30/10

30/10

25/10

25/10

30/5

N

运动方向刚度

0.3

0.3

X0.25/Y0.3

X0.25/Z0.3

X0.25/Y0.3/Z0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

0.3

0.3

X0.2/Y0.3

X0.2/Z0.3

X0.2/Y0.3/Z0.18

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/0.8

10/0.8

15/0.8

15/0.8

20/0.8

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

100

100

100

100

50

 

Hz±20%

100%行程

9

10

9

9

5

zui大承载

0.8

0.8

0.7

0.7

0.6

kg

静电容量

1.8

1.8

1.8/轴

1.8/轴

1.8/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

 

重量

100

100

170

170

230

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

 

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