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产品名称:N60系列压电纳米定位台

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产品特点:N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X 轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。

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N60系列压电纳米定位台的详细资料:

   N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X 轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。

N60系列压电纳米定位台特点:

 一维X轴

 超小体积

 位移行程34μm

 毫秒级响应时间

一维X轴平移台

N60为一维X轴运动平台,台面两个安装螺纹孔,便于安装负载。 

高分辨率、高谐振频率、体积小巧                      

高分辨率 N60配套E53压电控制器,可实现0.5nm的步进分辨率。 

N60采用机构放大设计原理,一维X轴运动行程34μm, 体积小巧、结构紧凑,尺寸为28╳28╳12.5mm。

N60压电纳米定位台采用机构放大设计原理,优异的结构设计,无摩擦无后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的 动态性能,空载谐振频率达1800Hz。产品稳定性好、无漂移、使用寿命长,体积小巧,方便与其他系统结构进行集成安装等优异的性能使其适合于光学 显微扫描、精密加工、微操作等应用。 

N60系列压电纳米定位台典型应用
• 光纤定位    • 光学扫描
• 微操作    • 纳米定位

N60系列压电纳米定位台技术参数:

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

N60.X30S

N60.X30K

 

单位

运动自由度

X

 

标称行程范围(0~120V)

24

μm±20%

zui大行程范围(-20~150V)

34

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.5/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.3/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

推/拉力

8/2

N

运动方向刚度

0.6

N/μm±20%

空载谐振频率

1.8

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/2

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

100

 

Hz±20%

100%行程

10

zui大承载

0.5

kg

静电容量

0.8

μF±20%

材质

 

重量

80

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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