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产品名称:XP-62系列压电纳米定位台

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产品报价:

产品特点:XP-62系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高 分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

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XP-62系列压电纳米定位台的详细资料:

    XP-62系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高 分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

XP-62系列压电纳米定位台特点:

 1~3维自由组合

 zui大行程68μm

 zui大承载10kg

 重复定位精度可达0.05%F.S.

 亚毫秒响应时间

大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性
XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机 构,优异的柔性铰链设计,具有高刚度、高频响等特 点,刚度可达40N/μm,空载谐振频率高达4.2kHz, 适用于需要大负载、高频率需求的应用,如电化学加 工等。
XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压 电陶瓷,平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机 构,无磨损、免维护,提供极高的稳定性。
该产品易于与其他宏动台产品集成配套,实现更大 行程的精密定位。

 宏微复合机构

  XP-623.XY二维压电纳米定位台配套二维宏动台,应用于精密加工中。

XP-62系列压电纳米定位台典型应用

• 扫描显微    • 半导体技术
• 生物技术    • 微加工/精密控制

XP-62系列压电纳米定位台技术参数:

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

XP-620.XS

XP-620.XK

XP-621.XS

XP-621.XK

XP-623.XS

XP-623.XK

 

单位

运动自由度

X

X

X

 

标称行程范围(0~120V)

12

24

48

μm±20%

zui大行程范围(-20~150V)

17

34

68

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

0.5/0.1

1/0.2

2/0.3

nm

闭环线性度

0.1/-

0.15/-

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<25

<30

<35

μrad

推/拉力

480/160

480/160

480/160

N

运动方向刚度

40

20

10

N/μm±20%

空载谐振频率

4.2

3.3

2.5

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

1.5/0.8

3/1.6

5/3.2

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

300

150

75

 

Hz±20%

100%行程

100

50

25

zui大承载

10

10

10

kg

静电容量

1.8

3.6

7.2

μF±20%

材质

铝、钢

铝、钢

铝、钢

 

重量

150

250

450

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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